各行業中無塵車間的溫濕度標準

無塵車間是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內的溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度、噪聲、照明及靜電控制在某一需求范圍內而特別設計的空間。

無塵車間對于溫濕度的控制主要取決于其生產工藝。但在滿足加工工藝的條件下，還應考慮到車間內人的舒適感。因為人出汗以后，會對產品產生污染。那么，各行業中無塵車間的溫濕度標準到底有什么不同呢？

一、精密機械加工業

在精密機械加工和計量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，應保持工作環境溫度的均一性。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在： 以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時，一般總是以恒定環境空氣溫度為依據，故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數和選擇自動控制時，須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。

二、電子制造業

在電子行業制造車間是zui重要產生靜電的地方，通常靜電會對產品造成短路甚至會造成員工導電暈倒事故，所以電子行業的無塵車間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產生，通常建議無塵車間的防靜電區域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠無塵車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

三、生物制藥業

在生物制藥的無塵車間中對易吸潮藥品的相對濕度要求45％～50％RH(夏季)，片劑等固體制劑50％～55％RH，水針及口服液55％～65％RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產質量。

四、集成電路生產加工行業

在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

五、食品生產業

食品，保健品，飲料等車間對對生產潔凈度要求是比較高的，通常為10萬級至萬級以上，但同時車間的濕度越低越容易滋生細菌，細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至zui低。

為了便于測試不同行業中無塵車間的溫濕度，我公司（宏瑞科技）自主研發生產了TH-40型數字式溫濕度儀。該儀器選用美國MEAS的傳感器，以數字形式顯示無塵室內的溫濕度，測試精度高、測試準確，可廣泛應用于電子、制藥、生物技術、航空航天等生產、科研部門，是制藥企業和質量監督部門貫徹GMP規范加強生產環境管理的理想儀器。